Технология интегральной электроники
Ануфриев Л.П., Бордусов С.В.
Учебное пособие включает базовые технологические процессы и оборудование для производства изделий интегральной электроники. Предназначено для закрепления и углубления теоретических знаний, ознакомления с современными технологическими процессами и автоматизированным технологическим оборудованием для изготовления изделий интегральной электроники.
Год:
2009
Издательство:
Интегралполиграф
Язык:
russian
Файл:
PDF, 7.78 MB
IPFS:
,
russian, 2009